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定向仪

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详细介绍

定向仪

功能:该仪器主要用于硅单晶锭柱面定向,测定OF面,也可用于测定其它半导体单晶锭OF面。 晶锭垂直放置在工作台上,在X-RAY的照射下,测定OF。

技术参数:

项目

参     

输入电源

单相交流220V,50Hz,0.3KW.

Z大管电压

30kV

管电流

0-5mA连续可调

接收器

盖革计数器,工作电压Z高为DC1050V。

X射线管

铜靶,风扇冷却,阳极接地。

定向精度

±30"(用标准石英片10ī1面测量)

Z小读数

1"

外形尺寸

1290(长)x772(宽)x1300(高)mm

仪器重量

300kg。

晶锭直径

Φ200

晶锭Z大长度

500mm

定向晶面

110

 

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