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DXM-EST多点测量

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ob欧宝娱乐网页:DXM-EST多点测量

详细介绍

设备信息

用于晶片自动检测,适用于2-6英寸晶片,主要针对晶片精准的多点测量,准确的测量出晶体在生长过程中,内部晶格的变化量,为晶体生长的一致性给出指导性数据。设备精度为±30”,Z小读数1”(精度可根据要求升级)

适用晶体

压电晶体、碳化硅、砷化镓、磷化铟等III-V族化合物

 

 

c14.jpg

 

 

 

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